[发明专利]芯片背面及侧面涂布保护材料的方法有效

专利信息
申请号: 201410155286.0 申请日: 2014-04-18
公开(公告)号: CN103972073A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 黄永发;张子岳;黄正信;刘家宾;温国豪;邓月忠;王焕菊 申请(专利权)人: 丽智电子(昆山)有限公司
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;H01L21/56;H01L21/68
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215316 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,操作步骤依次如下:(1)在芯片板的背面张贴第一蓝膜;(2)对芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;(3)在独立的芯片正面张贴第二蓝膜;(4)取下第一蓝膜;(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。本发明的有益之处在于:由多个蓝膜配合使用,保证切割后的芯片仍然为一个整体,进行整体的涂布加工,节省人工,工时也较缩短,大幅度的降低芯片的整个制造成本。
搜索关键词: 芯片 背面 侧面 保护 材料 方法
【主权项】:
芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,所述芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,其背面即为芯片板的背面,所述芯片板其余的面均为芯片板的侧面;其特征在于,操作步骤依次如下:(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片; (3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜;(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面;(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。
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