[发明专利]芯片背面及侧面涂布保护材料的方法有效
申请号: | 201410155286.0 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN103972073A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 黄永发;张子岳;黄正信;刘家宾;温国豪;邓月忠;王焕菊 | 申请(专利权)人: | 丽智电子(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/56;H01L21/68 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215316 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,操作步骤依次如下:(1)在芯片板的背面张贴第一蓝膜;(2)对芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片;(3)在独立的芯片正面张贴第二蓝膜;(4)取下第一蓝膜;(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。本发明的有益之处在于:由多个蓝膜配合使用,保证切割后的芯片仍然为一个整体,进行整体的涂布加工,节省人工,工时也较缩短,大幅度的降低芯片的整个制造成本。 | ||
搜索关键词: | 芯片 背面 侧面 保护 材料 方法 | ||
【主权项】:
芯片背面及侧面涂布保护材料的方法,对原始的芯片组件进行加工,所述芯片组件为具有凸点的芯片板,所述芯片板具有凸点的一面为芯片板的正面,其背面即为芯片板的背面,所述芯片板其余的面均为芯片板的侧面;其特征在于,操作步骤依次如下:(1)将芯片板放置在蓝膜张贴机上,在芯片板的背面张贴第一蓝膜;(2)对背面张贴第一蓝膜的芯片板进行切割,将芯片板切割成独立的芯片; (3)在切割后的独立的芯片正面张贴第二蓝膜;(4)取下独立的芯片背面的第一蓝膜,露出独立的芯片的背面及侧面;(5)在独立的芯片的背面及侧面涂布保护材料并固化;(6)在保护材料外侧张贴第三蓝膜;(7)取下独立的芯片的正面的第二蓝膜;(8)对涂布有保护材料的芯片进行二次切割;(9)取出芯片,形成独立的背面及侧面涂布有保护材料的芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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