[发明专利]一种高NA投影物镜

摘要

本发明提出了一种高NA投影物镜，用于将掩膜面的图像成像到硅片面内。该高NA投影物镜，由第一单元、第二单元、第三单元、第四单元、第五单元、第六单元、第七单元、第八单元、第九单元和第十单元组成。其中第一单元L1、第二单元L2、第三单元L3、第五单元L5、第八单元L8具有正光焦度，第七单元L7、第九单元L9、第十单元L10具有负光焦度，第四单元L4、第六单元L6为45°放置的平面反射镜。本发明的高NA投影物镜可将物成缩小1/4的像，具有数值孔径大，分辨力高，结构紧凑，成像质量好等优点。

主权项

一种高NA投影物镜，包括第一单元（L1）、第二单元（L2）、第三单元（L3）、第四单元（L4）、第五单元（L5）、第六单元（L6）、第七单元（L7）、第八单元（L8）、第九单元（L9）和第十单元（L10），其特征在于，第一单元（L1）具有正光焦度，第二单元（L2）具有正光焦度，第三单元(L3)具有正光焦度，第四单元（L4）为45°放置的平面反射镜，第五单元（L5）具有正光焦度，第六单元（L6）为45°放置的平面反射镜，第七单元（L7）具有负光焦度，第八单元（L8）具有正光焦度，第九单元（L9）具有负光焦度，第十单元（L10）具有负光焦度;第一单元（L1）包括第一正透镜（1）、第二正透镜（2）、第一负透镜（3）和第三正透镜（4）;第二单元（L2）包括第四正透镜（5）和第二负透镜（6）；第三单元（L3）包括第五正透镜（7），第六正透镜（8）和第七正透镜（9）；第四单元（L4）包括第一平面反射镜（10）；第五单元（L5）包括第三负透镜（11），第四负透镜（12），第八正透镜（13）和第一曲面反射镜（14）；第六单元（L6）包括第二平面反射镜（18）；第七单元（L7）包括第五负透镜（19），第六负透镜（20）和第七负透镜（21）；第八单元（L8）包括第九正透镜（22），第十正透镜（23）和第八负透镜（24）；第九单元（L9）包括第九负透镜（25），第十负透镜（26），第十一负透镜（27），第十二负透镜（28）；第十单元（L10）包括第十三负透镜（29），第十四负透镜（30），第十五负透镜（31）。