[发明专利]一种具有纳米微腔结构的金属银薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种具有纳米微腔结构的金属银薄膜的制备方法，选用金属银靶经直流溅射沉积系统，沉积在基片上，利用离子束刻蚀得到具有纳米微腔结构的金属银薄膜，此方法无需使用其他的辅助化学物质，不会引入新的杂质污染银薄膜微结构；与其它方法相比较，简便省时；本发明制作方法无毒无害，不会对操作人员造成伤害。

主权项

一种具有纳米微腔结构的金属银薄膜的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）将金属银靶和玻璃基片分别放入清洁装置中浸泡清洗，去除去除金属银靶和玻璃基片表面的油污；2）将基片放入直流溅射沉积系统中，控制直流溅射沉积系统工作功率、预溅时间、薄膜沉积时间，将金属银均匀的沉积在玻璃基底表面，从而在玻璃表面形成一层均匀的金属银薄膜，将沉积好的银薄膜取出备用；3）将金属银薄膜放入离子束刻蚀系统，设定系统电流、电压，以及离子束轰击金属银薄膜的表面角度、轰击时间后，进行轰击，形成表面具有纳米微腔结构的金属银薄膜。