[发明专利]等离子体蒸发装置

摘要

本发明提供一种等离子体蒸发装置，其能够将等离子束高精度地引导至蒸发材料。包括等离子体蒸发装置的成膜装置（1）具备多个用于使成膜材料（Ma）蒸发的等离子枪（7）。多个等离子枪（7）包括在等离子束（P）的射出方向上具有磁力线（G）方向的第1等离子枪（7R）、及在与等离子束（P）的射出方向相反的方向上具有磁力线（G）方向的第2等离子枪（7L）。从与成膜材料（Ma）相对的方向观察时，多个等离子枪（7）并列设置于真空腔室（10），并且配置成第2等离子枪（7L）相对于第1等离子枪（7R）不排列在将射出方向作为前方时的右侧。

主权项

一种等离子体蒸发装置，其在腔室内使蒸发材料蒸发，所述等离子体蒸发装置具备：多个等离子枪，经由设置在所述腔室的侧壁的等离子体口与所述腔室连接，用于在所述腔室内生成并射出等离子束而蒸发所述蒸发材料；以及多个炉缸部，在所述腔室内与所述多个等离子枪分别对应地设置，所述多个等离子枪沿与射出所述等离子束的方向即Y轴方向的正方向交叉的方向即Z轴方向排列设置，在与所述Y轴方向的正方向以及所述Z轴方向这两个方向交叉的X轴方向上，所述多个炉缸部位于相比所述多个等离子枪靠负的方向即X轴负方向，并且，沿所述Z轴方向排列配置所述多个炉缸部，所述多个炉缸部中的各个炉缸部具有：主炉缸，填充有所述蒸发材料；以及环炉缸，配置成包围所述主炉缸，并吸引从所述多个等离子枪中的一个等离子枪射出的等离子束，所述多个等离子枪包括：第1等离子枪，在等离子束的射出方向上即所述Y轴方向的正方向上具有磁力线方向；及第2等离子枪，在与等离子束的射出方向相反的方向上即Y轴方向的负方向上具有磁力线方向，且所述多个等离子枪被配置成：从所述X轴方向的正方向朝向负方向的方向上观察时，所述第2等离子枪相对于所述第1等离子枪不排列在将所述Y轴方向的正方向作为前方时的右侧。