[发明专利]光刻机照明光源的描述方法

摘要

一种光刻机照明光源的描述方法。该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源。本发明减少了描述光刻机照明光源所需的变量数量，提高了获得最优光刻机照明光源的速度。

主权项

一种光刻机照明光源的描述方法，其特征在于该方法通过一组相互重叠的圆形子照明光源的坐标和光强等参数描述光刻机照明光源，包含以下步骤， 步骤A，输入照明光源描述矢量 [r_σ1,r₁,θ₁,g₁,…,r_σi,r_i,θ_i,g_i,…,r_σN,r_N,θ_N,g_N], 其中圆形子照明光源的圆心坐标为[r_i,θ_i]，半径为r_σi，光强为g_i，数量为N； 步骤B，建立直角坐标网格，网格步长Δd＜min(r_σi); 步骤C，根据照明光源描述矢量得到直角坐标网格上的光刻机照明光源分布其中步骤D，后处理； 其中步骤D后处理包含以下子步骤： 步骤D1，增加背景光强I_bg：I_with bg(x,y)=I(x,y)+I_bg； 步骤D2，平滑处理：其中为卷积运算，kernel为卷积核函数。