[发明专利]矩形孔单级衍射光栅有效
申请号: | 201410160786.3 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103901519B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 曹磊峰;刘钰薇;魏来;杨祖华 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心51210 | 代理人: | 翟长明 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种矩形孔单级衍射光栅,光栅由规则透光矩形孔基元在不透光基底二维方向周期性重复排列而成,光栅的基元矩形孔长宽比为32,矩形孔的长边与一维的轴线方向成45°夹角,同一维相邻的两个矩形孔对角线交点间的距离与矩形孔长边边长的比例为。与现有光栅比,本发明的单级衍射光栅能有效抑制高级衍射,能够消除2n、3n级衍射(n为非零整数),能将5级及更高级衍射抑制到1级衍射的0.16%及以下的水平。本发明的单级衍射光栅能够实现自支撑,有较高的衍射效率,具有二值化特征,规则的矩形孔基元规则排布,使得光栅易于制作、易于在实际中推广应用。 | ||
搜索关键词: | 矩形 孔单级 衍射 光栅 | ||
【主权项】:
一种矩形孔单级衍射光栅,其特征在于:所述光栅由规则矩形孔基元在基底二维方向周期性重复排列而成,光栅的基元矩形孔长宽比为3:2,矩形孔的长边与一维的轴线方向成45°夹角,同一维相邻的两个矩形孔对角线交点间的距离与矩形孔长边边长的比例为。
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