[发明专利]用于微机电系统器件的有源侧向力粘滞自恢复有效
| 申请号： | 201410164571.9 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN104176697B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 贾克妙;P·T·琼斯 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 陈华成 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于微机电系统器件的有源侧向力粘滞自恢复。提供了通过施加正交于粘滞力的力从MEMS器件中的与粘滞相关的事件恢复的机制。施加正交于粘滞力的矢量的弱力可以比施加平行于粘滞力的矢量的力更容易释放被阻塞的检测质量块。示例实施例提供了垂直的平行板(510,520)或梳指状侧向致动器(610,620)以施加正交力。另选实施例提供了第二换能器(710)的检测质量块(720)来碰撞被阻塞的MEMS致动器以释放粘滞。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 器件 有源 侧向 力粘滞 恢复 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括：第一检测质量块，受到所述第一检测质量块和所述MEMS器件的固定部分之间的粘滞力；用于响应于所述粘滞力将释放力施加于所述第一检测质量块的部件，其中所述释放力足以释放所述粘滞力，并且所述释放力包括正交于与所述粘滞力相关联的粘滞力矢量的释放力矢量；其中用于施加释放力的部件包括用于施加电磁力的部件；其中用于施加电磁力的部件包括：形成于所述第一检测质量块的一部分的侧面上的电极；以及固定电极，在与形成于所述第一检测质量块的所述部分的侧面上的电极接近的固定表面上形成，其中所述第一检测质量块的所述部分包括在所述粘滞力下与所述MEMS器件的固定部分接触的位置。
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