[发明专利]熔石英光学元件激光修复装置及修复方法有效
| 申请号： | 201410164892.9 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103978306A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 马平;鄢定尧;吕亮 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种熔石英光学元件激光修复装置及修复方法，属于光学材料加工技术领域。修复装置包括依光路走向设置的激光器、能量调节单元、光束调节单元、光束会聚透镜和元件位移平台；能量调节单元与光束调节单元之间设有一级反射镜；光束调节单元与光束会聚透镜之间设有二级反射镜；光束会聚透镜与元件位移平台之间设有三级反射镜；激光器、能量调节单元、光束调节单元由系统控制单元控制；系统控制单元与元件位移平台之间设有监控单元；元件位移平台上设有托架。本发明可快速、简易、精确的修复损伤坑，从而可以大幅度提高元件的利用率，降低元件的使用成本。修复区界面结合好，工艺简单、沉积速率快。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 光学 元件 激光 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种熔石英光学元件激光修复装置，包括依光路走向设置的激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）、光束会聚透镜（5）和元件位移平台（6）；能量调节单元（2）与光束调节单元（3）之间设有一级反射镜（4）；光束调节单元（3）与光束会聚透镜（5）之间设有二级反射镜（12）；光束会聚透镜（5）与元件位移平台（6）之间设有三级反射镜（13）；其特征在于，激光器（1）、能量调节单元（2）、光束调节单元（3）由系统控制单元（9）控制；系统控制单元（9）与元件位移平台（6）之间设有监控单元（8）；元件位移平台（6）上设有托架（7）；托架（7）由底座（7‑1）和与其螺旋连接的升降台（7‑2）构成。
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