[发明专利]一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法

摘要

一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，属于半导体光电材料领域。采用不同能量的激光在室温下空气中辐照氧化锌薄膜，使其可见光类型发生由红橙光到蓝绿光一系列的连续变化。其中本征氧化锌薄膜的制备采用脉冲激光溅射沉积的方法，溅射激光波长为248nm，能量为400mJ/pulse，重复频率为3Hz，沉积脉冲数为10000个，温度为室温，气氛为40Pa的氧气气氛；辐照激光波长为248nm，能量为200～700mJ，辐照100个脉冲。本发明方法具有工艺简单、可控性强、重复性高、成本低廉等特点，此方法调控的氧化锌薄膜可得到连续的不同类型的发光，能够应用于LED、LD等发光电子器件中。

主权项

一种调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型的方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)将蓝宝石衬底置于脉冲激光溅射沉积系统的硅板加热器上，利用机械泵和分子泵抽真空，使系统真空度不低于10^‑4Pa，然后关闭分子泵，通入氧气气氛，使氧气气压达到38‑42Pa，维持稳定；(2)调节系统光路，使激光束聚焦于氧化锌靶材，并且使等离子体羽辉能够均匀地覆盖衬底，靶材与衬底间的距离为60mm，设置薄膜沉积参数，沉积薄膜，使得薄膜的厚度为250‑300nm；(3)将沉积的本征氧化锌薄膜在室温下空气中进行激光辐照处理，通过调整激光的能量来调控本征氧化锌薄膜可见光发光类型。