[发明专利]精密致动装置

摘要

本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。

主权项

一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件(10)，具有在其内部形成的安装空间(101)；其中，所述第一移动部件具有上表面(102)和内侧面(103)，所述安装空间(101)从所述上表面(102)向所述第一移动部件(10)的内部凹入并朝向所述上表面(102)敞开，并且所述安装空间(101)的周边由所述内侧面(103)限定；第一精密驱动机构(11)，与所述第一移动部件(10)传动连接，所述第一精密驱动机构(11)用于驱动所述第一移动部件(10)沿第一方向运动；第二移动部件(20)和第二精密驱动机构(21)，布置且保持在所述安装空间(101)内，以便能够随所述第一移动部件(10)一起沿所述第一方向运动；其中，所述第二精密驱动机构(21)与所述第二移动部件(20)传动连接，用于驱动所述第二移动部件(20)在所述安装空间内沿不同于所述第一方向的第二方向运动；在所述第一精密驱动机构(11)与所述第一移动部件(10)之间，和/或在所述第二精密驱动机构(21)与所述第二移动部件(20)之间，形成有导向限位结构(40)，用于引导所述第一和/或第二移动部件相对于对应的所述第一和/或第二精密驱动机构仅能够沿对应的第一和/或第二方向移动；所述导向限位结构(40)包括：导向槽(41)；滑动块(42)，用于与所述导向槽(41)相配合并设置在所述导向槽(41)中；其中，所述第一和/或第二精密驱动机构形成有所述导向槽(41)和所述滑动块(42)中的一种，所述第一和/或第二移动部件形成有所述导向槽(41)和所述滑动块(42)中的另一种。