[发明专利]压印方法、压印装置和制造物品的方法

摘要

本发明提供了一种压印方法，包括：变形步骤，所述变形步骤将模具的图案表面变形以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面变形时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形时利用所述偏移量和相对位置对准模具和基板。以及一种压印装置和制造物品的方法。

主权项

1.一种通过使用具有其上形成有标记的图案表面的模具在基板上形成压印材料的图案的压印方法，所述方法包括：变形步骤，所述变形步骤通过向模具施加第一作用力将图案表面变形为向基板弯曲的凸起形状使得模具能够从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向、从图案表面变形之前的模具上的标记的位置偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面在变形步骤中被变形的同时检测模具上的标记和基板上的对应标记，并根据检测结果获取模具上的标记和基板上的对应标记之间的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形的同时利用所述偏移量和所述相对位置将模具和基板对准，以使得在图案表面的变形已经变小并且因此偏移量也已经变小时模具上的标记和基板上的标记彼此对准；其中所述方法还包括：测量步骤，所述测量步骤在改变施加至模具的第一作用力的同时测量偏移量，并获取表示第一作用力和偏移量之间的对应关系的信息；其中在获取步骤中，根据施加至模具的作用力从所述信息中获取偏移量。