[发明专利]光学非破坏检查装置以及光学非破坏检查方法

摘要

本发明提供一种光学非破坏检查装置以及光学非破坏检查方法，可测定的温度范围较宽的能在短时间内高可靠性地检查引线结合处等测定对象物，光学非破坏检查装置具备聚光准直装置、加热用激光源、加热用激光导光装置、红外线检测器、放射红外线导光装置、第一、第二修正用激光源、第一、第二修正用激光导光装置、第一、第二修正用激光检测器、第一、第二反射激光导光装置以及控制装置。控制装置控制加热用激光源、第一第二修正用激光源并基于来自红外线检测器的检测信号和来自第一、第二修正用激光检测器的检测信号，测定与加热时间对应的测定点的温度上升状态亦即温度上升特性，基于测定出的温度上升特性判定测定对象物的状态。

主权项

一种光学非破坏检查装置，其包括：聚光准直装置，其使沿着光轴从第一侧入射的平行光从第二侧射出，并朝向作为焦点位置设定在测定对象物上的测定点聚光，并且将从所述测定点放射以及被反射而从第二侧入射的光变换为沿着光轴的平行光，使所述平行光从第一侧射出；加热用激光源，其射出以不破坏测定对象物的方式加热测定对象物的激光；加热用激光导光装置，其将所述加热用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；红外线检测器，其能够检测出从所述测定点放射的红外线；放射红外线导光装置，其从自所述测定点放射且自所述聚光准直装置的第一侧射出的平行光中将规定红外线波长的红外线向所述红外线检测器引导；第一修正用激光源，其射出第一修正用激光，所述第一修正用激光与所述加热用激光相比输出功率小且波长不同；第一修正用激光导光装置，其将从所述第一修正用激光源射出的所述第一修正用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；第一修正用激光检测器，其能够检测出被所述测定点反射的所述第一修正用激光；第一反射激光导光装置，其将被所述测定点反射并从所述聚光准直装置的第一侧射出的所述第一修正用激光向所述第一修正用激光检测器引导；第二修正用激光源，其射出第二修正用激光，所述第二修正用激光与所述加热用激光相比输出功率小且波长不同；第二修正用激光导光装置，其将从所述第二修正用激光源射出的所述第二修正用激光向所述聚光准直装置的第一侧引导；第二修正用激光检测器，其能够检测出被所述测定点反射的所述第二修正用激光；第二反射激光导光装置，其将被所述测定点反射且从所述聚光准直装置的第一侧射出的所述第二修正用激光向所述第二修正用激光检测器引导；以及控制装置，其中，所述控制装置控制所述加热用激光源、所述第一修正用激光源以及所述第二修正用激光源，并且基于来自所述红外线检测器的检测信号、来自所述第一修正用激光检测器的检测信号以及来自所述第二修正用激光检测器的检测信号，对与加热时间对应的所述测定点的温度上升状态亦即温度上升特性进行测定，基于测定出的所述温度上升特性判定测定对象物的状态。