[发明专利]感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件有效
| 申请号： | 201410168433.8 | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104122755B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 笹原直树;向郁夫;佐藤真弓;濑里泰洋;安部攻治;桐生真奈美 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白丽;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 元件 图案 制造 方法 以及 电子 部件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，/n所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，/n所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下，/n所述感光层的厚度小于20μm。/n
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