[发明专利]波长锁定装置和薄膜滤波器有效
申请号: | 201410169098.3 | 申请日: | 2014-04-23 |
公开(公告)号: | CN105093417B | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 卢伯崇;张乃胜;苏雷;全家强 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
主分类号: | G02B6/293 | 分类号: | G02B6/293;G02B6/42;G02B5/20 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种波长锁定装置和薄膜滤波器。该薄膜滤波器设置在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间,薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜,第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上,分光器输出的光束通过薄膜滤波器进入第一探测器,其中光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内,薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感,以提高波长锁定装置波长锁定精度。 | ||
搜索关键词: | 波长 锁定 装置 薄膜 滤波器 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜滤波器,其特征在于,所述薄膜滤波器设置在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间,所述薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜,所述第一滤波薄膜设置在所述衬底的第一表面上,所述分光器输出的光束通过所述薄膜滤波器进入所述第一探测器,其中所述光束的波长在所述第一滤波薄膜的波长范围内,所述薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感,以提高所述波长锁定装置波长锁定精度;所述薄膜滤波器还包括设置在所述衬底的第二表面上的第二滤波薄膜,所述第二表面与所述第一表面相对设置,所述第二滤波薄膜的温度漂移方向与所述第一滤波薄膜的温度漂移方向相反。
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