[发明专利]一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构无效
申请号: | 201410169932.9 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN104056458A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 贺波;刘态铭;朱建凯;蒋秀英 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司 |
主分类号: | B01D1/00 | 分类号: | B01D1/00;B01D1/30 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 刘楠 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明公开了一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构。该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱,以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸气和其它高沸点气体,提高蒸发设备的抽速,提高系统真空度。本发明通过在蒸发设备内加装冷阱的方法来控制油分子上返,可以更快速的凝结真空系统中的水蒸气和其它高沸点气体,减少扩散泵返油造成的真空室污染,提高真空系统的抽速,提高系统真空度。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 设备 冷却水 系统 失效 改造 方法 结构 | ||
【主权项】:
一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法,其特征在于:该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱,以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体,提高蒸发设备的抽速,提高系统真空度。
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