[发明专利]一种防止二极管管芯台面被污染的方法在审
申请号: | 201410170033.0 | 申请日: | 2014-04-25 |
公开(公告)号: | CN104064447A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 袁锟;王智;姚俊;赵志云 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/329 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人: | 刘楠 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明公开了一种防止二极管管芯台面被污染的方法,该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后,将适量固态石蜡放在管芯台面上,而后将硅片水平放入烘箱加热,使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源,使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态,通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触,以达到防止管芯台面被污染的目的。采用石蜡保护层替代现有保护层,以简化生产工艺,缩短生产周期,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 防止 二极管 管芯 台面 污染 方法 | ||
【主权项】:
一种防止二极管管芯台面被污染的方法,其特征在于:该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后,将适量固态石蜡放在管芯台面上,而后将硅片水平放入烘箱加热,使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源,使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态,通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触,以达到防止管芯台面被污染的目的。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造