[发明专利]频率和相位的多射频功率源控制有效
| 申请号： | 201410171657.4 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN104124130B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 戴维·J·库莫;迈克尔·L·科克;丹尼尔·M·吉尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 康泉,宋志强 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了频率和相位的多射频功率源控制。一种系统具有第一RF发生器及第二RF发生器。该第一RF发生器控制该第二RF发生器的频率。该第一RF发生器包括功率源、传感器及传感器信号处理单元。该传感器信号处理单元联接至该功率源和该传感器。该传感器信号处理单元缩放该第一RF发生器的频率，以控制该第二RF发生器的频率。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 相位 射频 功率 控制 | ||
【主权项】：
一种RF发生器，包括：RF功率源；传感器，联接至所述RF功率源；以及传感器信号处理单元，联接至所述RF功率源且联接至所述传感器，所述传感器信号处理单元适于接收来自外部RF发生器源的输入并且生成用于控制所述RF发生器的相位和频率的控制信号，其中来自所述外部RF发生器源的所述输入包括所述外部RF发生器源操作的频率的缩放版本。
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