[发明专利]多个传感器间相互位置关系校准方法有效
| 申请号： | 201410171812.2 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN105005182B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 马琳琳;杨志勇;孙刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多个传感器间相互位置关系校准方法，通过掩模对准传感器和基板对准传感器测量设置在工件台基准版上的基准标记，建立掩模对准传感器与基板对准传感器之间的位置关系。具体包括，步骤1采用掩模对准传感器对工件台基准版上的基准标记进行位置测量；步骤2通过该基准标记上的第一标记对掩模对准传感器进行位置标定；步骤3通过该基准标记上的第二标记对基板对准传感器进行位置标定。本发明通过掩模对准建立掩模与工件台的位置关系，再建立基板与工件台的位置关系，从而可以间接建立掩模与基板的位置关系，可以有效解决掩模、基板传感器间相互位置漂移问题，从而消除该漂移对套刻的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 相互 位置 关系 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种多个传感器间相互位置关系校准方法，通过掩模对准传感器和基板对准传感器测量设置在工件台基准版上的基准标记，建立掩模对准传感器与基板对准传感器之间的位置关系，包括离线标定与在线标定，所述离线标定包括采用基板对准传感器对工件台基准版上的基准标记进行位置测量；所述在线标定包括离轴基线更新和同轴基线更新，所述离轴基线更新包括通过该基准标记上的第一标记对基板对准传感器进行位置标定；所述同轴基线更新包括通过该基准标记上的第二标记对掩膜对准传感器进行位置标定。
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