[发明专利]检查装置有效
| 申请号： | 201410179190.8 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN105021940B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 金完洙;郑相宪 | 申请（专利权）人： | 佰欧特株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检查装置，包括检查单元，检查基板的通电状态；及转位单元，通过旋转运动将上述基板移送至上述检查单元。本发明的检查装置可迅速可靠地检查基板的通电状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，包括：移动单元，将第五位置的基板移动至第一位置；对齐单元，确认从上述第一位置移送至第二位置的上述基板的对齐状态；检查单元，检查从上述第二位置移送至第三位置的上述基板的通电状态；卸载单元，卸载从上述第三位置移动至第四位置的上述基板并将卸载的上述基板移动至第六位置；转位单元，进行旋转运动并按通过上述旋转运动形成的虚拟的同心圆上的上述第一位置、上述第二位置、上述第三位置及上述第四位置的顺序移送上述基板；第一装载单元，设置于上述移动单元的上游并装载上述基板；及第一辅助单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至上述转位单元，当将装载于上述第一装载单元的上述基板中位于最上层的基板定义为最上层基板时，至少在上述第一辅助单元移动上述最上层基板的时间点上，上述最上层基板的高度不受装载于上述第一装载单元的基板的数量而固定。
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