[发明专利]一种硫化锌半导体薄膜的简单高效制备方法有效
| 申请号： | 201410179668.7 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN103962295A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 夏国栋;王素梅 | 申请（专利权）人： | 齐鲁工业大学 |
| 主分类号： | B05D7/24 | 分类号： | B05D7/24;C01G9/08 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 250353 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体材料与器件领域，特别涉及一种硫化锌半导体薄膜的简单高效制备方法。(1)合成黄原酸锌单源前驱体；(2)制备单源黄原酸锌前驱体溶液；(3)制备硫化锌薄膜。本发明工艺简单易操作，原料廉价易得，所制备的硫化锌薄膜结晶质量高，成分易控制，外观上连续，均匀，致密，表面平整光亮，且与衬底的结合牢固可靠，也可在形状复杂的衬底上制备薄膜；通过上述工艺可以避免通常的多步复杂工艺、工艺周期长或高真空昂贵设备等，成本低，适合工业化大规模生产，所制备的硫化锌薄膜可应用于太阳能电池、平板显示器和发光二极管等光电器件中。 | ||
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【主权项】：
一种硫化锌半导体薄膜的简单高效制备方法，其特征在于：包括如下步骤：(1) 合成单源前驱体：采用沉淀法合成单源黄原酸锌前驱体；(2) 制备前驱体溶液：将单源黄原酸锌前驱体溶解在吡啶或含吡啶基团溶剂中，制备出均匀的浓度为0.01‑2.5g/ml的黄原酸锌前驱体溶液；(3) 制备硫化锌薄膜：将黄原酸锌前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成前驱体薄膜，然后经过一定温度、时间和气氛的退火，就可得到硫化锌薄膜或颗粒层。
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