[发明专利]一种测试电沉积应力的方法有效
| 申请号： | 201410181006.3 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN104034457A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 饶春芳;叶志清 | 申请（专利权）人： | 江西师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 杨洲;高瑜 |
| 地址： | 330022 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试电沉积应力的方法，包括以具有金属表面的布拉格光纤光栅传感器为阴极进行电沉积过程；获得随电沉积时间T变化的所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量；获得随电沉积镀层厚度d变化的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度；将所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量乘以所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度的倒数即得电沉积应力。本发明的测试方法简单、精度高、适于实时在线测试、可用于电沉积多层薄膜及对称结构薄膜时的应力测试，且尤其适合在圆柱形器件上电沉积薄膜时的应力测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 沉积 应力 方法 | ||
【主权项】：
一种测试电沉积应力的方法，包括以具有金属表面的布拉格光纤光栅传感器为阴极进行电沉积过程；获得随电沉积时间T变化的所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量；获得随电沉积镀层厚度d变化的所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度；将所述布拉格光纤光栅传感器的中心波长的偏移量乘以所述布拉格光纤光栅传感器的应力灵敏度的倒数即得电沉积应力。
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