[发明专利]一种可工程化的MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201410182218.3 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN103954795A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 薛旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种可工程化的MEMS加速度计，包括加速度敏感芯片、信号转换电路、第一金属管壳、第二金属管壳、第一基板、第二基板、信号调节电路。其中加速度计还包括温度传感器，其紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片、信号转换电路和温度传感器封装为独立的第一模块，所述信号调节电路在调试后封装为独立的第二模块，第二模块晚于第一模块封装。其中信号转换电路包括C-V转换电路、电压基准源裸芯片；信号调节电路包括校正和反馈电路、零位调节电路和滤波电路。本发明解决了MEMS加速度计工程化的诸多难题，特别是温度特性、冲击及过载的环境适应性，可用于制作惯性测量和惯性导航的加速度敏感元件，也可以作为桥梁健康监测等领域的加速度测量元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工程 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
一种可工程化的MEMS加速度计，包括加速度敏感芯片(1)、信号转换电路、信号调节电路，其特征在于，所述加速度计还包括温度传感器(10)，所述温度传感器(10)紧邻所述加速度敏感芯片(1)；所述加速度敏感芯片(1)、信号转换电路和温度传感器(10)封装为独立的第一模块，所述信号调节电路在调试后封装为独立的第二模块，所述第二模块晚于第一模块封装。
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