[发明专利]一种MEMS加速度计

摘要

一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片包括多个测量体，每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿形成有差分检测电容；所述梳齿结构为多组，多组梳齿结构分成第一部分和第二部分，第一部分梳齿结构与第二部分梳齿结构活动间隙变化方向相反，第一部分梳齿结构中的一组和第二部分梳齿结构中的一组输出一电信号。本发明的结构解决了传统MEMS加速度计温度系数大，温度滞回大的问题。

主权项

一种MEMS加速度计，包括：基板以及设置在所述基板上的加速度敏感芯片和集成电路，其特征在于，所述基板上还设置有温度传感器，所述温度传感器紧邻所述加速度敏感芯片；所述集成电路分别与所述加速度敏感芯片以及所述温度传感器相电连接；所述基板为陶瓷基板，所述温度传感器为微型铂电阻温度传感器，并通过高热导率胶粘接在所述基板上；所述加速度敏感芯片包括多个测量体；每个所述测量体包括：质量块以及梳齿结构；所述梳齿结构包括从所述质量块上延伸出的活动梳齿，以及与所述活动梳齿相互间隔设置的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成有差分检测电容；所述梳齿结构为四组，其中，在因加速度产生位移时，第一组梳齿结构、第二组梳齿结构与第三组梳齿结构、第四组梳齿结构活动间隙变化方向相反；在膨胀或收缩时，第一组梳齿结构和第二组梳齿结构活动间隙变化方向相反，第三组梳齿结构和第四组梳齿结构活动间隙变化方向相反；所述第一组梳齿结构和所述第二组梳齿结构，以及所述第三组梳齿结构和所述第四组梳齿结构交叉设置在所述质量块的两端；其中，所述第一组梳齿结构和所述第二组梳齿结构输出一电信号，所述第三组梳齿结构和所述第四组梳齿结构输出一电信号；所述第一组梳齿结构和所述第二组梳齿结构分别输出一信号，所述集成电路对输出的两组信号进行汇总处理，并输出一总信号；所述第三组梳齿结构和第四组梳齿结构分别输出一信号，所述集成电路对输出的两组信号进行汇总处理，并输出另一总信号；所述集成电路根据这两组总信号通过控制算法来测量加速度；多个所述测量体通过竖质量块相互连接，形成质量块整体，其中，所述质量块整体外还设置有框架，所述质量块整体通过支撑梁与所述框架相连接，所述支撑梁设置在所述质量块整体的四个端角，所述框架平行于所述竖质量块并分布在所述质量块整体两边，所述竖质量块设置在质量块的中央部位；所述框架上还设置有防撞止挡，所述防撞止挡与质量块整体之间的止挡间隙为1‑3微米。