[发明专利]一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器有效

专利信息
申请号: 201410183541.2 申请日: 2014-05-04
公开(公告)号: CN103926218B 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 顾德恩;侯剑章;王志辉;郭瑞;孙站红;蒋亚东 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 代理人: 徐丰
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器,属于传感技术领域,解决对环境折射率进行探测的灵敏度低的问题。本发明的一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器,所述折射率传感器由多个折射率传感器单元组成,每个折射率传感器单元由基底、金属层和亚波长的金属圆盘组成,折射率传感器单元自下而上依次是基底、金属层和亚波长的金属圆盘。使折射率传感器具有高灵敏度和高品质因数,可对被测环境折射率的微小变化实现高度灵敏的检测。
搜索关键词: 一种 基于 表面 等离子体 共振 高度 灵敏 折射率 传感器
【主权项】:
一种基于表面等离子体共振的高度灵敏折射率传感器,其特征在于:折射率传感器由多个折射率传感器单元组成,折射率传感器单元由自下而上依次设置的基底(1)、金属层(2)和亚波长的金属圆盘(3)组成;所述亚波长的金属圆盘(3)的直径为0.5~2.0微米,两相邻的折射率传感器单元上的相邻亚波长的金属圆盘(3)的中心距为亚波长的金属圆盘(3)直径的1/2~2倍;所述金属层(2)和亚波长的金属圆盘(3)是由金、银或铝及其它金属材料中的一种制成的;所述金属层(2)的厚度为50~200纳米,亚波长的金属圆盘(3)的厚度为50~200纳米。
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