[发明专利]高效太阳能电池的金属化制造方法无效

专利信息
申请号: 201410184949.1 申请日: 2014-05-04
公开(公告)号: CN103943729A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 肖笛;黄永远;罗红军;肖广源 申请(专利权)人: 上海华友金裕微电子有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 代理人: 冯智文
地址: 201700 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种高效太阳能电池的金属化制造方法,步骤为:一:对硅片进行抛光和清洗后,进行化学蚀刻和表面制绒;二:在电池正反面同时进行磷掺杂,形成和制造出PN结;三:去除表面的磷硅玻璃;四:用管式扩散炉进行热氧化,加工形成钝化减反膜;五:用PECVD经加工形成表面掩膜,然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形,并刷上一次薄银浆;六:丝网印刷铝背场和背电极,然后进行背部烧结,使银硅金属材料合金化,即烧结银;七:在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度,所使用替代金属为:电沉积银或者电沉积镍+铜+锡;八:对电池片进行退火;九:完成电池片的功率测试,导电性测试,强度测试后,对完成电池片分选和包装。成本低。
搜索关键词: 高效 太阳能电池 金属化 制造 方法
【主权项】:
一种高效太阳能电池的金属化制造方法,其特征在于:包括如下步骤:第一步:对硅片进行抛光和清洗后,进行化学蚀刻和表面制绒;第二步:在电池正反面同时进行磷掺杂,形成和制造出PN结;第三步:去除表面的磷硅玻璃;第四步:用管式扩散炉进行热氧化,加工形成钝化减反膜;第五步:用PECVD经加工形成表面掩膜,然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形,并刷上一次薄银浆;第六步:丝网印刷铝背场和背电极,然后进行背部烧结,使银硅金属材料合金化,即烧结银;第七步:在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度,所使用替代金属为:电沉积银或者电沉积镍+铜+锡; 第八步:对电池片进行退火,已消除应力;第九步:完成电池片的功率测试,导电性测试,强度测试后,对完成电池片分选和包装。
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