[发明专利]高效太阳能电池的金属化制造方法无效
申请号: | 201410184949.1 | 申请日: | 2014-05-04 |
公开(公告)号: | CN103943729A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 肖笛;黄永远;罗红军;肖广源 | 申请(专利权)人: | 上海华友金裕微电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 冯智文 |
地址: | 201700 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种高效太阳能电池的金属化制造方法,步骤为:一:对硅片进行抛光和清洗后,进行化学蚀刻和表面制绒;二:在电池正反面同时进行磷掺杂,形成和制造出PN结;三:去除表面的磷硅玻璃;四:用管式扩散炉进行热氧化,加工形成钝化减反膜;五:用PECVD经加工形成表面掩膜,然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形,并刷上一次薄银浆;六:丝网印刷铝背场和背电极,然后进行背部烧结,使银硅金属材料合金化,即烧结银;七:在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度,所使用替代金属为:电沉积银或者电沉积镍+铜+锡;八:对电池片进行退火;九:完成电池片的功率测试,导电性测试,强度测试后,对完成电池片分选和包装。成本低。 | ||
搜索关键词: | 高效 太阳能电池 金属化 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种高效太阳能电池的金属化制造方法,其特征在于:包括如下步骤:第一步:对硅片进行抛光和清洗后,进行化学蚀刻和表面制绒;第二步:在电池正反面同时进行磷掺杂,形成和制造出PN结;第三步:去除表面的磷硅玻璃;第四步:用管式扩散炉进行热氧化,加工形成钝化减反膜;第五步:用PECVD经加工形成表面掩膜,然后用丝网印刷在掩膜层上蚀刻正电极图形,并刷上一次薄银浆;第六步:丝网印刷铝背场和背电极,然后进行背部烧结,使银硅金属材料合金化,即烧结银;第七步:在正面烧结银的表面使用替代金属化材料以增加栅线厚度,所使用替代金属为:电沉积银或者电沉积镍+铜+锡; 第八步:对电池片进行退火,已消除应力;第九步:完成电池片的功率测试,导电性测试,强度测试后,对完成电池片分选和包装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的