[发明专利]一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法及装置有效
申请号: | 201410185352.9 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN103954598A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 匡翠方;方月;刘旭 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G01N21/01 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法,包括以下步骤:1)准直后的照明光束经长焦距透镜聚焦,再通过物镜照射到样品表面发生全反射产生倏逝波,激发荧光;2)收集的荧光经聚焦透镜后分为两路光束,一路光束由聚前探测器接收,另一路光束由聚后探测器接收,得到样品表层的焦前图和焦后图;3)控制样品轴向移动,得到样品不同深度下的焦前图和焦后图;4)对步骤3)中的焦前图和焦后图进行差分处理,将深度与差分结果进行拟合,得到深度和差分结果的标定曲线;5)利用样品表层的焦前图和焦后图的差分结果和标定曲线,实现样品表层各区域的轴向定位。本发明还公开了一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 倏逝波 照明 轴向 高精度 定位 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法,其特征在于,包括以下步骤:1)准直后的照明光束经长焦距透镜聚焦,再通过物镜照射到样品表面发生全反射产生倏逝波,激发样品表层发出荧光;2)收集的荧光经聚焦透镜后分为两路光束,一路光束由位于聚焦点前的探测器接收,另一路光束由位于聚焦点后的探测器接收,得到样品表层的焦前图和焦后图;3)控制样品轴向移动,重复步骤1)和步骤2)中的操作,得到样品不同深度下的焦前图和焦后图;4)对步骤3)中的焦前图和焦后图进行差分处理,将深度与差分结果进行拟合,得到深度和差分结果的标定曲线;5)对样品表层的焦前图和焦后图进行差分处理,根据所述的标定曲线,实现样品表层各区域的轴向定位。
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