[发明专利]一种快动探针二级传动系统

摘要

本发明公开了一种快动探针二级传动系统，包括一级传动系统、二级传动系统、探针系统、交换装置、真空闸板阀、控制系统；一级传动系统和二级传动系统相连，探针系统安装在二级传动系统上；一级传动系统推动探针系统进入真空室指定位置；二级传动系统推动探针系统由真空室指定位置进入等离子体边界；交换装置用于维护探针头；真空闸板阀用于隔断真空室和快动探针系统之间的真空环境；控制系统用于对整个快动探针二级传动组件进行自动化控制。本发明能够通过控制系统实现快速和自动控制，在不影响其他窗口诊断的情况下，实现探针头的维护，是托克马克装置较为理想的诊断系统。

主权项

一种快动探针二级传动系统，其特征在于：包括有一级传动系统、二级传动系统、探针系统、交换装置、闸板阀、真空室、控制系统；所述的一级传动系统放置在安装平台上，分别与所述二级传动系统和控制系统相连接，所述二级传动系统分别与探针系统和控制系统相连，探针系统通过交换装置、闸板阀接入真空室；当一级传动系统接收到控制系统发出的信号之后，一级传动系统带动二级传动系统快速向前运动；当二级传动系统带动探针系统进入到所述真空室以后，控制系统发出信号，所述二级传动系统带动探针系统向前快速前进，探针头进入真空室等离子体边界位置进行数据诊断；所述交换装置分别与探针系统和闸板阀相连，用于观察、更换和调整探针；所述闸板阀分别和交换装置和真空室的窗口相连，用于更换和调整探针时，隔断真空室和探针系统之间的真空环境；所述控制系统分别与一级传动系统、二级传动系统以及探针系统相连，用于对整个系统的快速进给、探针头诊断数据纪录和处理等进行控制，是所述一种快动探针二级传动系统的核心控制单元。