[发明专利]一种离子注入样品台

摘要

本发明公开了一种离子注入样品台，包括密封板、样品台底座、步进电机、样品板支架、齿轮连接轴、样品板、束流插孔、抑制电极、绝缘柱、电压插孔和计算机控制系统，样品台主体部分由样品台底座、步进电机、样品板支架、步进电机、齿轮连接轴和样品板从下至上依次连接；步进电机1可推动样品板支架左右移动，步进电机2可推动齿轮连接轴旋转并带动样品板转动；步进电机1和步进电机2均与计算机控制系统相连；样品板与束流插孔相连；抑制电极通过绝缘柱与样品台底座固定连接，且其通过导线连接电压插孔。该样品台可以通过计算机进行远距离控制，具有平移功能和旋转功能，离子注入过程中可以快速精确地更换样品，并且可以精确控制样品的倾斜角度。

主权项

一种离子注入样品台，其特征在于：包括密封板（1）、样品台底座（2）、第一步进电机（3）、样品板支架（4）、第二步进电机（5）、齿轮连接轴（6）、样品板（7）、金属棒（8）、抑制电极和计算机控制系统；所述的密封板（1）上设置有束流插孔、电压插孔、第一步进电机（3）接线孔和第二步进电机（5）接线孔；所述的密封板（1）与样品台底座（2）垂直固定连接，所述的第一步进电机（3）固定安装在所述的样品台底座（2）内，且与所述的计算机控制系统相连，其齿轮轴与所述的样品板支架（4）的托盘（11）背面相连，可带动所述的样品板支架（4）左右移动；所述的金属棒（8）设置在所述的样品板支架（4）内，所述的样品板（7）一端背面的孔洞套住所述的金属棒（8）、另一端搁置在所述的齿轮连接轴（6）上，其背面连接的导线与所述的束流插孔相连；所述的第二步进电机（5）固定在所述的样品板支架（4）的托盘（11）上，且与所述的计算机控制系统相连，其齿轮轴用于推动齿轮连接轴（6）的旋转，从而推动所述的样品板（7）旋转； 所述的抑制电极是由带孔（13）的凹面金属底板（14）组成，且其开口将所述的样品板（7）正面包住，所述的抑制电极通过绝缘柱（15）与所述的样品台底座（2）固定连接，通过导线与所述的电压插孔相连。