[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201410188884.8 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104726821B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 俞薰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金光军;韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀装置。蒸镀装置可包括：掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元包括：加压板，设置于所述基板的上部，且包括与所述基板的边缘位置对应的第一区域和除所述第一区域之外的第二区域；基板加压部件，位于所述第一区域，且朝所述基板突出，以对所述基板的上表面的边缘位置进行加压；多个突出部件，位于所述第二区域，且朝所述基板突出。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，包括：掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，其中，所述紧贴单元包括：加压板，设置于所述基板的上部，且包括突出图案区域；多个第一突出部件，设置于所述突出图案区域的边缘位置，且朝所述基板突出；多个第二突出部件，设置于除设置有所述多个第一突出部件的部分之外的所述突出图案区域，且朝所述基板突出，其中，所述第一突出部件的宽度小于所述第二突出部件的宽度。
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