[发明专利]基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器

摘要

本发明公开了一种基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器。包括密闭的耐蚀壳体、以及安装在耐蚀壳体内的PDMS压阻传感单元和不锈钢电容传感单元。耐蚀壳体由中空的螺栓头、不锈钢隔膜、封盖、螺母依次装配而成；PDMS压阻传感单元由绝缘膜、PDMS压阻层和下表面具有检测电极的惰性橡胶上电极衬底组成；不锈钢电容传感单元由中心开孔的不锈钢薄膜极板和后盾基板组成。本发明集合了压阻式和电容式两种力敏感单元，有效实现静态力和瞬态力的二阶量测量，提高测量效率和精度；选用SS316不锈钢作为传感器耐蚀壳体，其优良的强耐腐蚀性等特点满足了传感器在腐蚀性气体及液体下的压力测量要求。

主权项

一种基于PDMS压阻和不锈钢电容的耐蚀压力传感器，其特征在于：该传感器由耐蚀壳体(1)，安装在耐蚀壳体(1)内的PDMS压阻传感单元(2)和不锈钢电容传感单元(3)组合而成；其中：1) 耐蚀壳体(1)：包括中空的螺栓头(4)、不锈钢隔膜(5)、封盖(6)和螺母(7)依次装配成一个密闭的腔体；2) PDMS压阻传感单元(2)：从下至上依次由绝缘膜(8)、PDMS压阻层(9)和下表面具有检测电极(13)的惰性橡胶上电极衬底(10)组成；PDMS压阻传感单元(2)的绝缘膜(8)安装在耐蚀壳体(1)的不锈钢隔膜(5)上；3) 不锈钢电容传感单元(3)：从下至上依次由中心开孔的不锈钢薄膜极板(14)和后盾基板(15)组成；不锈钢电容传感单元(3)的不锈钢薄膜极板(14)安装在PDMS压阻传感单元(2)的惰性橡胶上电极衬底(10)上，耐蚀壳体(1)的封盖(6)下底面安装在不锈钢电容传感单元(3)的后盾基板(15)上。