[发明专利]接触电阻的测试方法和测试结构在审
| 申请号： | 201410193209.4 | 申请日： | 2014-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105092976A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 单文光;周华阳;宋永梁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种接触电阻的测量方法和测试结构，用于测试热载流子注入实验中探针和焊垫之间的接触电阻，包括以下步骤：在两个相邻焊垫之间设置电阻R；对两个相邻焊垫施加第一电压V并测量出对应的第一电流I；根据第一电压V和第一电流I计算出两个相邻焊垫之间的总电阻；对与两个相邻焊垫相邻的焊垫施加第二电流I'并测量出电阻R对应的第二电压V'；根据第二电压V'和第二电流I'计算出电阻R的大小；根据总电阻以及电阻R的大小计算出接触电阻的大小。应用本申请接触电阻的测试方法，利用差值计算接触电阻的大小，能有效节约测试时间和测试样本，达到降低工作成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 电阻 测试 方法 结构 | ||
【主权项】：
一种接触电阻的测量方法，用于测试热载流子注入实验中探针和焊垫之间的接触电阻，其特征在于，包括以下步骤：在两个相邻焊垫之间设置电阻R；对所述两个相邻焊垫施加第一电压V并测量出对应的第一电流I；根据所述第一电压V和所述第一电流I计算出所述两个相邻焊垫之间的总电阻；对与所述两个相邻焊垫相邻的焊垫施加第二电流I'并测量出所述电阻R对应的第二电压V'；根据所述第二电压V'和所述第二电流I'计算出所述电阻R的大小；根据所述总电阻以及所述电阻R的大小计算出接触电阻的大小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410193209.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
