[发明专利]一种蓝宝石长晶炉通气方法无效
申请号: | 201410197302.2 | 申请日: | 2014-05-12 |
公开(公告)号: | CN103924299A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 刘世全;周显智;王展航 | 申请(专利权)人: | 深圳晶蓝地光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518106 广东省深圳市光明*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石长晶炉通气方法,属于熔体籽晶法单晶生长设备技术领域。主要包括入气管道、出气口位置、气体类型,其特征在于:入气管道与籽晶夹持杆同轴,出气口位置在管道底端,气体包围着籽晶,所通的气体为氩气。本发明可以有效地维持坩埚内正常的温度梯度,保持籽晶表面清洁,使结晶顺利地进行,保证晶体的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 长晶炉 通气 方法 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石长晶炉通气方法,主要包括入气管道、出气口位置、气体类型,其特征在于:入气管道与籽晶夹持杆同轴,出气口位置在管道底端,气体包围着籽晶,所通的气体为氩气。
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