[发明专利]超分辨三维测量显微镜有效
| 申请号： | 201410198264.2 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103968779A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 万新军;朱伟超;杨波 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人： | 陈伟勇 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密测量技术领域。超分辨三维测量显微镜，包括一干涉显微镜本体，干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块，照明模块的出射光朝向一生成不同相位值的正弦结构光的结构光生成器，结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜，分光棱镜的反射光朝向一干涉物镜；干涉物镜使由分光棱镜反射的光束在光轴的方向上会聚而照射于被测物，并且使从被测物反射得到的测量光束与从干涉物镜内部得到的参照光束相干涉；被测物的干涉光从干涉物镜中返回后，依次途径分光棱镜、一筒镜、一探测器，干涉光经过筒镜后被探测器接收。本发明通过结构光生成器和软件算法来重建超分辨率的干涉光场图像。 | ||
| 搜索关键词： | 分辨 三维 测量 显微镜 | ||
【主权项】：
超分辨三维测量显微镜，包括一干涉显微镜本体，其特征在于，所述干涉显微镜本体包括一生成准直均匀光线的照明模块，所述照明模块的出射光朝向一生成不同相位初值的正弦结构光的结构光生成器，所述结构光生成器的出射光朝向一分光棱镜，所述分光棱镜的反射光朝向一干涉物镜；所述干涉物镜使由分光棱镜反射的光束在光轴的方向上会聚而照射于被测物，并且使从被测物反射得到的测量光束与从干涉物镜内部得到的参照光束相干涉；被测物的干涉光从所述干涉物镜中返回后，依次途径所述分光棱镜、一筒镜、一探测器，所述干涉光经过筒镜后被探测器接收。
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