[发明专利]精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法

摘要

本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温度稳定且精确的浸液以用于浸没式光刻工艺。

主权项

一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，其特征在于，包括：增压泵(34)，待处理的浸液通过该增压泵泵送处理后具有一定压力后以输出；初级热交换器(23)，其浸液入口与所述增压泵出口连通，经所述增压泵处理输出后的浸液与冷媒在该初级热交换器中进行热交换，以实现浸液温度的初级调控；次级热交换器(24)，其浸液入口与所述初级热交换器(23)浸液出口连通，用于冷媒对经该次级热交换处理后的浸液进行再次热交换，以对浸液温度再次调整，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀(22)，其入口与所述初级热交换器(23)浸液出口连通，其出口与所述次级热交换器(24)出口连通，以形成与所述次级热交换器(24)并联，使得从所述初级热交换器(23)处理后的浸液可分别进入次级热交换器(24)和流量伺服阀(22)，以调节进入所述次级热交换器(24)的与冷媒进行热交换的浸液流量，实现对浸液温度的调控；通过协调控制进入所述初级热交换器(23)和次级热交换器(24)的冷媒流量，并结合所述流量伺服阀(22)对进入所述次级热交换器(24)的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温度稳定且精确的浸液以用于浸没式光刻工艺。