[发明专利]优化温度场分布的电镀装置及其电镀方法

摘要

本发明提供了一种优化温度场分布的电镀装置及其电镀方法，该电镀装置包括电镀电源等元件，施镀工件、不溶性阳极都与电镀电源输出端相连，施镀工件和不溶性阳极都位于工作槽内部，出液泵连接在出液管上，溢液槽位于工作槽的外侧，底部进液装置位于工作槽的下方，溢液口位于工作槽壁面的顶部，储液槽位于溢液槽的一侧，电镀电源用于在上述不溶性阳极和施镀工件之间通电进行电镀过程，工作槽存有电解液且是电镀实施的主要场所，不溶性阳极浸没在电解液中且通电时发生阳极反应，底部进液装置是电解液进入工作槽的入口,溢液槽是完成电镀过程的电解液从溢液口流出后集中的场所。本发明结构简单，有建设成本低、优化温度场的特点。

主权项

一种优化温度场分布的电镀装置，其特征在于，其包括电镀电源、施镀工件、不溶性阳极、工作槽、出液泵、储液槽、底部进液装置、溢液槽、溢液口、出液管，施镀工件、不溶性阳极都与电镀电源输出端相连，施镀工件和不溶性阳极都位于工作槽内部，出液泵连接在出液管上，溢液槽位于工作槽的外侧，底部进液装置位于工作槽的下方，溢液口位于工作槽壁面的顶部，储液槽位于溢液槽的一侧，电镀电源用于在上述不溶性阳极和施镀工件之间通电进行电镀过程，工作槽存有电解液且是电镀实施的主要场所，不溶性阳极浸没在电解液中且通电时发生阳极反应，底部进液装置是电解液进入工作槽的入口,溢液槽是完成电镀过程的电解液从溢液口流出后集中的场所；所述底部进液装置的底端设有一个进液口，进液口通过一个进液管与储液槽连接，出液口位于溢液槽的底部一侧上，进液管上安装有一个进液泵；所述工作槽采用变截面结构，工作槽的底部截面面积最大，工作槽的顶部面积最小。