[发明专利]一种半导体产品封装工艺在审
申请号: | 201410203352.7 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104282579A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 陆洪飞 | 申请(专利权)人: | 苏州中搏成机电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 215021 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种半导体产品封装工艺,其过程包括,前制程工序和后制程工序,前制程工序依次为研磨、贴片、焊线;后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;在撕膜后,电镀前,还包括抛光工序:使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,接着进行精抛,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。本发明所述的半导体产品封装工艺,对半导体产品引脚面的残胶,注塑溢胶具有很好的清洁效果;对引脚面、散热片区域的刮伤有很强的修复效果,并且工艺简单,操作方便,对不同厚度的产品可以通过调整防静电纤维轮转速进行控制,通用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 产品 封装 工艺 | ||
【主权项】:
一种半导体产品封装工艺,分为前制程工序和后制程工序,后制程工序依次包括贴膜、注塑、撕膜、电镀、切割;其特征在于:在所述的撕膜工序后和电镀工序前,还包括抛光工序,所述的抛光工序为:先使用防静电纤维轮对半导体产品先进行粗抛,接着对半导体产品进行精抛,最后把精抛后的半导体产品进行水洗、烘干。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造