[发明专利]一种掩膜板盒

摘要

本发明提供一种掩膜板盒，包括用于容置掩膜板的盒体结构；及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。本发明所提供的掩膜板盒上设置有清洁机构，可以不必开启掩膜板盒的盒盖，直接利用其清洁机构进行掩膜板的清洁工作，具有操作简便、清除污染颗粒效率高等优点，同时，可节省大量的人力成本。

主权项

一种掩膜板盒，其特征在于，包括：用于容置掩膜板的盒体结构；及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上；所述清洁机构包括：能够在盒体结构上移动，以移动至所述盒体结构内的掩膜板的表面上预定位置处的吸附部件，所述吸附部件的吸附面朝向所述盒体结构内的掩膜板的表面设置；设置于所述盒体结构上的导轨，所述吸附部件设置于所述导轨上，并能够沿所述导轨移动；及，用于驱动所述吸附部件沿所述导轨移动的驱动单元。