[发明专利]智能型弱点图形诊断方法与系统

摘要

本发明公开一种智能型弱点图形诊断方法与系统。在方法的实施例中，首先从缺陷图形库与高失败频率的缺陷图形库取得弱点图形布局，并通过晶圆缺陷检测工具取得缺陷数据，配合设计布局的取得与执行弱点缺陷图形筛选，可以取得已知或未知的弱点缺陷图形，除了更新弱点图形库外，更能在电子显微镜实际取得的晶圆影像上取得弱点图形轮廓，以利得到真实的系统性弱点图形。

主权项

一种智能型弱点图形诊断方法，应用于一电脑系统实现的智能型弱点图形诊断系统中，其特征在于所述的方法包括：该电脑系统自一缺陷图形库与一高失败频率的缺陷图形库引入一弱点图形布局；该电脑系统取得经一制造工艺厂的缺陷检测工具所取得的缺陷检测数据；该电脑系统引入一设计布局数据，该设计布局数据至少包括系统性的各种缺陷与弱点图形；执行弱点图形筛选与过滤，以比对该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库中记载的弱点图形与由该电脑系统取得的设计布局数据，分类以取得一已知弱点图形群组；执行未知弱点图形筛选与过滤，由该电脑系统取得的设计布局数据作图形相似比对，找出不属于且不相似于该缺陷图形库与该高失败频率的缺陷图形库的弱点图形，分类以取得一未知弱点图形群组；得出该已知弱点图形群组以及该未知弱点图形群组的分布；取得一待测物影像，以取得该待测物上弱点图形的坐标位置与度量数据；以及执行一影像处理，得到弱点图形轮廓以及各弱点图形的尺寸、范围与数量，用以判断系统性的弱点图形。