[发明专利]一种锗晶体码盘分划工艺在审
| 申请号： | 201410211244.4 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103955114A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 苏颖;陈俊霞;张勇;张成群;龚涛;赵科兵;赵淑君 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G01D5/347 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454001 河南省焦*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锗晶体码盘分划工艺，其工艺流程为：涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→清洗→镀铬→去胶→检验。本发明的有益效果是：解决了锗晶体码盘图案的制作技术难题，在锗晶体光坯上制作出明暗对比度大、图案边缘不均匀性小的码盘图案，激光通过码盘上的光栅通道，形成信息场的调制频率，满足激光驾束制导仪的使用。该方法对晶体分划元件的制作具有很好的推广应用价值。可广泛应用于光学仪器分划元件的加工，可用于航天、航空、激光驾束制导系统、红外产品光学系统等。在锗晶体光坯上制作出明暗对比度大、图案边缘不均匀性小的码盘图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 码盘分划 工艺 | ||
【主权项】：
一种锗晶体码盘分划工艺，其特征在于：其工艺流程为：涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→清洗→镀铬→去胶→检验。
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