[发明专利]具有隔离隔膜的传感器有效
| 申请号： | 201410213258.X | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104101367B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | C·斯图尔特;S·E·贝克;R·A·戴维斯;G·莫拉莱斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马丽娜;徐红燕 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种传感器组件，包括具有在其中形成腔的第一晶片以及相对于第一晶片结合从而在腔上方形成隔膜的第二晶片。在隔膜中或者环绕隔膜的第二晶片中形成沟槽，并且可以用隔离材料来填充该沟槽从而帮助热和/或电隔离隔膜。该隔膜可以支撑一个或多个感测元件。根据需要，传感器组件可以使用流量传感器、压力传感器、温度传感器、和/或任何其它适当传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隔离 隔膜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器组件，包括：第一晶片，其具有在其中形成的腔，该腔限定与第一晶片的第一侧邻近的腔边缘；第二晶片，其被第一晶片的第一侧支撑，其中第二晶片在腔的上方延伸从而形成隔膜，隔膜具有由腔的腔边缘限定的周边；由隔膜支撑的一个或多个感测元件；以及沟槽，其基本围绕隔膜的周边。
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