[发明专利]一种滤波器及其形成方法有效
| 申请号： | 201410213861.8 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105098304B | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 万晶;牟鹏飞;阎跃鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01P1/207 | 分类号： | H01P1/207;H01P11/00;H01P7/06 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;吉海莲 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种滤波器，包括：衬底；衬底上的介质层；介质层中的第一金属层；槽线谐振腔，为形成在第一金属层中的槽线型谐振腔，暴露第一金属层下的介质层；输入馈线和输出馈线。本发明通过半导体制造工艺，在金属层中形成槽线谐振腔，使得信号在槽线间传播，实现信号的滤波，结构紧凑，易于在集成电路工艺中实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器，其特征在于，包括：衬底；衬底上的介质层；介质层中的第一金属层，第一金属层为接地端且为平面层；槽线谐振腔，为形成在第一金属层中的槽线型谐振腔，暴露第一金属层下的介质层；与槽线谐振腔相连的输入馈线和输出馈线，所述输入馈线和输出馈线为形成在第一金属层中的共面波导传输线，都包括传输线和沟槽，沟槽位于传输线的两侧且暴露第一金属层下的介质层，所述输入馈线和输出馈线的传输线和沟槽分别与槽线的两个侧边相接，第一金属层接地。
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