[发明专利]一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法

摘要

本发明公开了一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，由于采用等离子体浸没离子注入技术对透明导电氧化物薄膜进行反应离子刻蚀处理，可以得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜，因此可以将该具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜应用于太阳能电池的前电极，以起到较强的减反或陷光作用。此制绒方法不仅可以避免湿法刻蚀所引进的杂质沾污对太阳能电池性能的影响，并且采用等离子体浸没离子注入技术在透明导电氧化物薄膜上制作绒面结构，还可以灵活调整绒面结构，从而提升太阳能电池的光电转换性能。

主权项

一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，其特征在于，包括：在样品上形成透明导电氧化物薄膜；将形成有所述透明导电氧化物薄膜的样品置于绒面制备装置的注入腔室中；对放置有所述透明导电氧化物薄膜的样品的绒面制备装置的注入腔室进行抽真空处理；向经过所述抽真空处理后的绒面制备装置的注入腔室内通入刻蚀所述透明导电氧化物薄膜所需的刻蚀气体；在所述绒面制备装置的注入腔室中将所述刻蚀气体转换为等离子体后，采用等离子体注入的方式对所述透明导电氧化物薄膜进行反应离子刻蚀处理，得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。