[发明专利]一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置有效
| 申请号： | 201410214080.0 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105092900B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 于鹏;刘柱;周磊;杨洋;王栋;刘连庆;焦念东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 周秀梅,许宗富 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，包括固定夹具、探针夹连接器、探针夹；所述探针夹连接器固定于固定夹具上，并与探针夹连接。本发明探针夹体积小、质量轻，能够固定到压电陶瓷驱动器上，可以应用于倒置式原子力显微镜扫描头的结构设计中；能够实现探针夹的快速装卸、探针的快速安装和固定，以及为探针提供纳米级位移的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 原子 显微镜 扫描 探针 夹持 装置 | ||
【主权项】：
一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置，其特征在于：包括固定夹具(2)、探针夹连接器(3)和探针夹(4)；所述探针夹连接器(3)固定于固定夹具(2)上，并与探针夹(4)连接；所述探针夹连接器(3)包括电路主板(6)、信号电缆(8)和插针(7)；电路主板(6)上固定有多个插针(7)，其中两个插针(7)与两根信号电缆(8)相连。
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