[发明专利]多晶硅装料设备及其控制方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅装料设备及其控制方法，所述多晶硅装料设备包括石英坩埚，其中，所述石英坩埚设于坩埚平台上，所述石英坩埚的上方设有悬吊支架，所述悬吊支架通过缓冲机构和固定器相连，所述固定器上设有吸盘，所述悬吊支架和坩埚平台之间设有升降机构。本发明提供的多晶硅装料设备及其控制方法，通过吸盘将硅料吸附在固定器上，经升降机构将块状硅料无冲击的稳定放入坩埚内，且不会破环坩埚涂层，大大减小装料时间，避免人工引入的污染影响铸锭质量，从而提高铸锭产量，且设备结构简单，易于控制操作。

主权项

一种多晶硅装料设备，包括石英坩埚(6)，其特征在于，所述石英坩埚(6)设于坩埚平台(7)上，所述石英坩埚(6)的上方设有悬吊支架(10)，所述悬吊支架(10)通过缓冲机构(2)和固定器(3)相连，所述固定器(3)上设有吸盘(4)，所述悬吊支架(10)和坩埚平台(7)之间设有升降机构。