[发明专利]加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法

摘要

本发明提供一种即使在长时间保管保护膜形成用化学溶液、用于配制该化学溶液的保护膜形成用化学溶液组合试剂后，也能够确保该化学溶液或该化学溶液组合试剂等液体的洁净性，且能够抑制该液体的带电的加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法。一种加压输送容器，其特征在于，其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器，所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成上述保护膜形成用化学溶液。

主权项

一种加压输送容器，其特征在于，其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器，所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成所述保护膜形成用化学溶液，所述保护膜形成用化学溶液具有非水有机溶剂、甲硅烷基化剂、以及酸或碱，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂包含：具有非水有机溶剂和甲硅烷基化剂的处理液A，以及具有非水有机溶剂、和酸或碱的处理液B，所述加压输送容器具备：用于填充所述保护膜形成用化学溶液、所述处理液A以及所述处理液B中的任意液体的容器主体；为了相对于所述容器主体填充和/或取出所述液体而将所述液体进行通液的通液喷嘴；与填充于所述容器主体的液体接触的液体接触喷嘴；以及用于相对于所述容器主体导入和/或排出气体的气体口喷嘴，所述容器主体由与所述液体接触的部分为树脂材料的金属罐体构成，所述通液喷嘴设置有用于降低所述液体的带电电位的除电机构，所述通液喷嘴中除了所述除电机构之外的液体接触部分由树脂材料构成，所述通液喷嘴与液体接触喷嘴连接，所述液体接触喷嘴的与填充于容器主体的液体接触的至少表面为树脂制。