[发明专利]阻抗匹配器的测试系统及方法有效
| 申请号： | 201410216819.1 | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN105093002B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 成晓阳;张敏;卫晶;丁恒;孔庆宝;孙岩 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李芙蓉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阻抗匹配器的测试系统，包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机，射频电源、待测试阻抗匹配器和阻抗模拟器依次电连接，射频电源、待测试阻抗匹配器及阻抗模拟器分别与工控机电连接；工控机用于控制射频电源、阻抗模拟器和待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试；阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，可变阻抗调节单元与电阻电连接；多个可变阻抗调节单元与多个驱动装置一一对应，驱动装置用于调节可变阻抗调节单元的阻抗值。本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法。本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法，提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配器 阻抗模拟器 测试阻抗 匹配器 测试系统 可变阻抗 射频电源 驱动装置 电连接 工控机 测试 电阻 工作性能 机电连接 工控 阻抗 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配器的测试系统，其特征在于：包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器、监测仪器和工控机，所述射频电源、所述监测仪器、所述待测试阻抗匹配器和所述阻抗模拟器依次电连接，所述射频电源、所述监测仪器、所述待测试阻抗匹配器及所述阻抗模拟器分别与所述工控机电连接；所述监测仪器用于对所述待测试阻抗匹配器的工作性能参数进行监测，并将监测结果传输至所述工控机，所述工控机用于控制所述射频电源、所述阻抗模拟器和所述待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对所述待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试；所述阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，所述可变阻抗调节单元与所述电阻电连接；多个所述可变阻抗调节单元与多个所述驱动装置一一对应，所述驱动装置用于调节所述可变阻抗调节单元的阻抗值。
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