[发明专利]加热汽化系统和加热汽化方法

摘要

本发明提供加热汽化系统和加热汽化方法。所述加热汽化系统(1)具备：容器(2)，通过将材料加热和汽化而生成材料气体；配管(3)，将所述材料气体导出；传感器用流道(3a)，设置在配管(3)上；流量检测部(4a)，具备设置在传感器用流道(3a)上的热式流量传感器(6)，利用所述热式流量传感器(6)测量流过配管(3)的材料气体的流量；流量调节部(4b)，调节流过流量检测部(4a)上游的配管(3)的所述材料气体的流量；以及控制部(4c)，使用流量检测部(4a)的检测结果，控制流量调节部(4b)。

主权项

1.一种加热汽化系统，其特征在于具备：容器，所述容器具备收容材料的罐以及通过将所述罐内收容的材料加热和汽化而生成材料气体的加热器；配管，与所述罐连接，将在所述罐内生成的所述材料气体导出；传感器用流道，设置在所述配管上；流量检测部，具备设置在所述传感器用流道上的热式流量传感器，利用所述热式流量传感器测量流过所述配管的所述材料气体的流量；流量调节部，设置在所述容器的下游且在所述流量检测部的上游，调节流过所述配管的所述材料气体的流量；控制部，使用所述流量检测部的测量结果，控制所述流量调节部；一个或多个的加热装置，设置在所述流量检测部和所述流量调节部中的任意一个中；以及内部加热装置，所述内部加热装置配置在位于所述流量调节部的上游侧或下游侧的所述配管的内部，加热所述材料气体，所述加热器和所述加热装置分别独立地控制所述罐的温度、所述流量检测部的温度以及所述流量调节部的温度，使所述流量检测部的温度为所述流量调整部的温度以下，所述内部加热装置具备：金属圆筒，以外侧周面沿着所述配管的内侧周面的方式构成；以及金属细线，遍及所述金属圆筒的内部。