[发明专利]一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法

摘要

本发明提供的本发明提供了一种可量产的PERL晶体硅太阳电池的制作方法，包括硅片去损伤并制绒、清洗；磷扩散；背面磷硅玻璃去除，并实现背面抛光，去除磷硅玻璃并清洗；背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长；正面氮化硅减反射薄膜生长；背面印刷p型掺杂剂并烘干；背面的p型掺杂剂印刷区域采用激光进行局域重掺杂；超声清洗；背面印刷背电极及铝背场，正面印刷银栅线；烧结，测试。本发明步骤简单、易于操作，是一种可量产高效晶硅太阳能电池的制备方法，其主要特点为在商业化的工业设备基础上，充分利用目前企业生产线已具备的常规电池生产设备，充分减少设备投资，且不增加电池每瓦制造成本。

主权项

一种可量产PERL晶体硅太阳电池的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)硅片去损伤并制绒、清洗：选择p型硅片作为硅基体，对选择的p型硅片去损伤后在碱液下进行表面绒面化，然后在酸性条件下进行化学清洗，除去表面杂质；p型硅片其电阻率为0.5‑6ohm·cm，对硅片的制绒、清洗具体为：用质量分数为0.5‑2％的氢氧化钠或氢氧化钾溶液在75‑85℃下对P型硅片表面进行化学腐蚀，制备出金字塔形状的绒面，随后用质量分数为0.5‑30％的氢氟酸进行清洗；(2)磷扩散：对硅片的正面进行磷扩散形成n型层，扩散自然形成的磷硅玻璃作为电池正面的掩膜，实现背面去除发射结以及抛光的目的；(3)背面磷硅玻璃去除，并实现背面抛光，去除磷硅玻璃并清洗；(4)在硅片的背面氧化铝/氮化硅叠层薄膜生长；(5)在硅片的正面氮化硅减反射薄膜生长；(6)在硅片的背面印刷p型掺杂剂并烘干；(7)在硅片的背面的p型掺杂剂印刷区域采用激光进行局域重掺杂；(8)对硅片进行超声清洗；(9)在硅片的背面印刷背电极及铝背场，正面印刷银栅线；(10)烧结，测试。