[发明专利]一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构有效
| 申请号： | 201410223536.X | 申请日： | 2014-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN103981500A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 梁继然;刘星;李娜;吴劢君;胡明 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/02;C23C8/12 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 宋洁瑾 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。与传统的单一二氧化钒薄膜结构(相变幅度为1-2个数量级)相比，本发明制备的可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构(相变幅度为2-3个数量级)，可以显著提高二氧化钒薄膜的相变幅度且操作工艺简单可重复性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 氧化 薄膜 相变 幅度 表面 微结构 | ||
【主权项】：
一种提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构，其特征在于，所述可提高二氧化钒薄膜相变幅度的表面微结构包括：以三氧化二铝为基底，在基底的一半面积上排列了一层二氧化硅纳米球，另一半不排球，接着在整片基底上沉积有一层二氧化钒薄膜。
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