[发明专利]一种温度连续可调型点接触式气敏湿敏测试腔

摘要

本发明公开了一种温度连续可调型点接触式气敏、湿敏测试腔，涉及气敏、湿敏传感器测试技术领域，目的在于提供一种温度连续可调型点接触式气敏、湿敏测试腔，用于通过有毒、腐蚀性气体对敏感元件性能测试。包括测试腔主体和温控模块，测试腔主体包括腔体、与腔体适配的腔盖，腔体侧壁连接有引出线、用于输送测试气体的进气管和出气管，引出线与设置于腔体内的动触片连接，测试时动触片的凸点与放入腔体内的待测敏感元件的电极接触。本发明采用点接触式，内部设有动触片组，可同时测量多个待测敏感元件，设置温控模块使得测试腔内温度连续可调，可在多种温度环境下进行；且动触片可以随意调节动触片的方向，使其适合不同电极尺寸元件的测试。

主权项

一种温度连续可调型点接触式气敏、湿敏测试腔，其特征在于：包括测试腔主体和温控模块，测试腔主体包括腔体（1）、与腔体（1）适配的腔盖（2），腔体（1）侧壁连接有引出线（12）、用于输送测试气体的进气管（3）和出气管（4），引出线（12）与设置于腔体（1）内的动触片（11）连接，测试时动触片（11）的凸点（112）与放入腔体（1）内的待测敏感元件（10）的电极接触。